Электронные книги

Жанры
Реклама
Последние комментарии
От партнёров
Облако тегов

ТехникаВакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
Название: Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
Автор: Данилин Б.С.
Издательство: Машиностроение
Год: 1987
Формат: pdf
Количество страниц: 72
Размер: 1,2 Mb

В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

Нажмите для скачивания _________________.__.________________________________________________________________________________________________________________________________.rar!_______________________________.rar
Размер: 1.06 Mb(cкачиваний: 2)



Похожие книги

Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.


  • Valid XHTML 1.0 Transitional