Электронные книги

Жанры
Реклама
Последние комментарии
От партнёров
Облако тегов

Наука и учебаКонструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Автор: Красников Г.Я.
Название: Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Издательство: Москва: Техносфера
Год: 2011
Количество страниц: 800
Формат: DJVU
Размер: 24 mb
Для сайта: eKnigi.org

В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса
изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий.

Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.

 



Нажмите для скачивания krasnikov_g_ya_konstruktivno_tehnologicheskie_osobennosti_su.rar!krasnikov_g_ya_konstruktivno_tehnologicheskie_osobennosti_su.rar
Размер: 24.37 Mb(cкачиваний: 0)




Похожие книги

Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.


  • Valid XHTML 1.0 Transitional