Электронные книги

Жанры
Реклама
Последние комментарии
От партнёров
Облако тегов

Наука и учебаБыстрые термообработки в технологии СБИС

Быстрые термообработки в технологии СБИС
Название: Быстрые термообработки в технологии СБИС
Автор: Пилипенко В.А.
Издательство: Мн.: Изд. центр БГУ
Год: 2004
Страниц: 531
ISBN: 985-476-251-3
Формат: PDF
Размер: 20.8 Мб
Язык: русский

В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света. Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО.
Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для гетгерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных зпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлеиронного профиля.





Нажмите для скачивания Bystrye_termoobrab__v_tehnololgii_SBIS_2004.rar!oobrab__v_tehnololgii_SBIS_2004.rar
Размер: 20.78 Mb(cкачиваний: 0)



Похожие книги

Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.


  • Valid XHTML 1.0 Transitional