Электронные книги

Жанры
Реклама
Последние комментарии
От партнёров
Облако тегов

Естественные наукиПрименение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленокНазвание: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Автор: Данилин Б.С.
Издательство: Энергоатомиздат
Год: 1989
Формат: DjVu
Язык: русский
Cтраниц: 327
Размер: 5 МБ
Для сайта: eKnigi.org

Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным методами, а также стимулированное плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.



Скачать книгу Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

 



Нажмите для скачивания Применение низкотемпературной плазмы.rar!Применение низкотемпературной плазмы.rar
Размер: 5.14 Mb(cкачиваний: 0)




Похожие книги

Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.


  • Valid XHTML 1.0 Transitional