Электронные книги

Жанры
Реклама
Последние комментарии
От партнёров
Облако тегов

АппаратураМикролитография

Микролитография
Автор: Моро У.
Название: Микролитография
Издательство: Мир
Год: 1990
Формат: PDF
Размер: 84,4 Мб
Для сайта: eKnigi.org
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов.
Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.




Нажмите для скачивания Mikrolitografia.rar!Mikrolitografia.rar
Размер: 84.48 Mb(cкачиваний: 0)



Похожие книги

Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.


  • Valid XHTML 1.0 Transitional